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乾蝕刻技術

濕式蝕刻法 ... 以讓人接受，所以應用比較廣，下圖是活性離子蝕刻系統的示意圖。 ... 註：單晶矽為<100> 矽；多晶矽為n+ ；二氧化矽為溼氧化；磷矽玻璃為經過退火處理 ...

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