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微製程概論(IC 及TFT/LCD)

乾氧化 法（Dry oxidation）. 2.濕氧化法（Wet oxidation）. 3.水氣氧化法（Stream oxidation）. 4.摻氯氧化法（Oxidation with Cl）. 濕氧化法又有:普通濕氧化法及氫氧 ...

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