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乾式蝕刻
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貨品分類號列第8486.10.00.20-1號等18項增列稽徴特別規定Z
第8486.20.00.31-6號「供半導體材料乾式蝕刻圖形用工具機」、 第8486.20.00.32-5號「供蝕刻、去除光阻物或清洗半導體晶圓之噴灑機具」、
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