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乾蝕刻原理

它包含了將材質整面均勻移除及圖案選擇性部分去除，可分為濕式刻蝕(wet etching)和乾式刻蝕(dry etching)兩種技術。 PDF 檔案. 乾式蝕刻在半導的體製程中，蝕刻被用來將某 ...

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