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乾式蝕刻製程晶圓的處理 - Itha

PDF 檔案乾式蝕刻（乾蝕） 平板乾蝕機特徵尺寸的縮小化成像光源光波氟化氫（HF）危害• 使用場合：蝕刻於氧化或磊晶過程– 製程設備停用• 接觸化學物質的形式： – 短期 ...

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