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乾式蝕刻
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淺談電漿蝕刻對低溫複晶矽薄膜電晶體之損傷效應 - 材料世界網
可是隨著面板與基板的尺寸越來越大,製程的穩定性與可靠度是邁入量產技術必須考量的重要因素,本文將以低溫複晶矽薄膜電晶體製程的觀點,闡述乾式蝕刻 ...
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