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乾式蝕刻
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109 年公務人員特種考試警察人員 - 公職王
乾式蝕刻 具有達到非等向性蝕刻(Anisotropic Etching)的能力,所以是現. 代精細圖案移轉製程不可或缺的技術。 (二). (1)鋁對於光阻之蝕刻選擇比維持在3 ...
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