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感應耦合電漿反應性離子蝕刻於石英玻璃加工的技術與應用

本研究主要探討石英玻璃之蝕刻特性，使用感應耦合電漿離子蝕刻(inductively coupled plasma-reactive ion ... 元件朝高深寬比結構發展，而利用乾式蝕刻技術則.

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