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LED｜莎姆克

乾式蝕刻. RIE-330iPC. 圖形化藍寶石基板（PSS）. LED. MOCVD. 沉積p-GaN/Active/n-GaN層. LED. 曝光／顯影. LED. 乾式蝕刻. RIE-330iPC. 蝕刻使n-GaN層露出. LED.

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