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Ch9 Etching

乾式蝕刻. 橫向蝕刻. 深度. 在3µm 以下製程. 不可接受. 極小. 蝕刻輪廓. 等向性. 可控制從非等向性到. 等向性. 蝕刻速率. 高. 尚可，且可控制.

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