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乾式蝕刻
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攪拌方式與蝕刻幾何特徵對KOH 矽蝕刻蝕刻速率及表面粗糙度 ...
關鍵字:非等向性濕蝕刻、葉片攪拌、超音波、氫氧. 化鉀. 1. 前言. 微機電系統裡,蝕刻技術是一個不可或缺的重要. 製程,而蝕刻製程主要分為乾式蝕刻和濕式蝕刻兩.
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