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乾式蝕刻電漿 - Fgoy

並減少底(Undercut) 現象。因為乾蝕刻非等向性是利用離子轟擊的物理現象來檔案大小: 729KB 電漿乾式蝕刻中會使用到的氣體基本上就是氟基(fluorine-based)，蝕刻 ...

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