隨著科技日益進步電漿也廣泛的應用在半導體製造中,像在薄膜沉積製程中的濺鍍(Sputtering)、電漿化學氣相沉積(PECVD) ;蝕刻製程中的乾式蝕刻(Dry etching) ;在佈植技術方面 ...
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