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乾式蝕刻技術_百度百科

乾式蝕刻 （又稱為等離子蝕刻）是最常用的蝕刻方式，其以氣體作為主要的蝕刻媒介，並藉由等離子體能量來驅動反應。在半導體的製程中，蝕刻被用來將某種材質自晶圓表面上 ...

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