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乾式蝕刻
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乾式蝕刻機 - 工商筆記本
半導體的蝕刻可分為乾式蝕刻與溼式蝕刻:1) 溼式... 乾式蝕刻利用化學氣體,經由物理蝕刻、化學蝕刻或兩... TCP9400(多晶矽乾蝕刻機)為科林研發之蝕刻機,.
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