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乾式真空幫浦缺點
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半導體製程設備技術 - 第 204 頁 - Google 圖書結果
以下章節將聚焦在不同蝕刻腔體作介紹及其優缺點與應用。 4.1 各種乾式蝕刻腔體設備介紹 4.1.1 反應式 ... 反應過程中之生成物或副產物由真空幫浦經廢氣管路離開系統。
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