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乾式真空幫浦缺點
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興櫃又添新生力軍鋒魁科技搭上成長列車大吃半導體商機 - 信傳媒
「月產能4萬片的12吋晶圓廠,約需要2000台的乾式真空幫浦(泵浦),製成微縮下,例如3奈米以下至少需要5000台的真空幫浦。」鋒魁科技董事長張錦發表示。
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