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超薄氧化層之研究__臺灣博碩士論文知識加值系統

我們分別用氧氣及一氧化二氮的不同材料, 和傳統高溫爐管及快速昇溫加熱的不同製程, 分別對其做化學濕式蝕刻及電漿乾式蝕刻, 以比較其對於電漿傷害的免疫能力.

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