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半導體製程設備技術 - 第 43 頁 - Google 圖書結果

氧化成長速率與氧的來源有關,因為O 2的擴散速率低於H2O的擴散速率,所以乾式氧化的成長速率會較濕式氧化來的慢。而我們也可以另一種直觀的想法來看,O 2 的分子量為32,H ...

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