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乾式氧化 濕 式氧化 比較
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爐管氮化矽均勻度改善之研究Study on Improvement of ...
片進行氧化層成長、物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition)、化學氣 ... 濕式蝕刻法利用化學溶液腐蝕晶圓上擬去除的材料,並在完成蝕刻.
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