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乾式氧化 濕 式氧化 比較
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TW201934484A - 多孔二氧化矽粒子及其製造方法
尤其適合於精加工的乾式研磨,但是也可以用於濕式研磨。具體而言,可以適合用於半導體基板、顯示器用基板、金屬板、玻璃板等的研磨。在實際的研磨中, ...
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