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微電子材料與制程【第九章氧化，介電層】

我們習慣以乾式氧化(dry oxidation)來稱呼(1)式的反應，而以濕式氧化(wet ... 當矽表面長出足夠厚的SiO2之後，接下來的氧化便變得比較困難，因為參與反應的氧分子必須 ...

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