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微奈米製程與科技之應用

乾式氧化 （高品質）. 溼式氧化（高效率 ... 將晶圓表面未受光阻保護的二氧化矽薄膜蝕穿，而露出下層 ... 活性離子蝕刻之氣體與蝕刻率(NM/MIN)比較.

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