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濕蝕刻與乾蝕刻半導體製程技術 - Apfigp

PDF 檔案乾式蝕刻和濕式蝕刻的比較濕式蝕刻乾式蝕刻橫向蝕刻深度 · PDF 檔案向性 ... 晶圓上會塗上一層光阻劑或硬罩(通常是氧化物或氮化物)，加層，圖案化，PCB等製程 ...

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