2.濕氧化法(Wet oxidation). 3. ... 濕氧化法又有:普通濕氧化法及氫氧合成濕氧化法。 ... 蝕刻液. 幾種常用薄膜蝕刻液與蝕刻率(nm/min)比較 ... ,二氧化矽(Silicon ...
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