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乾式氧化濕式氧化比較
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而且ISSG二氧化矽也比乾式快速熱氧化法所長出之二氧化矽(dry RTO oxide)具有更好的電 ... 致矽肺症風險,保障勞工肺部健康,建議以有效的通風控制及濕式作業改善環境。
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