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此時的氧化速率將由氧分子在二氧化矽中的擴散速率所主導

乾式氧化 (Dry Oxidation). 濕式氧化(Wet Oxidation) ... 將矽基材置於含氧的條件下，在矽表面氧化形成一層二氧化矽。由於該層二氧化矽會消耗部份的矽表層，我們將之歸 ...

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