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行政院環保署空污費專案計劃成果報告 - IR

氣體，大部份已在爐內氧化，因此廢氣經收. 集後，備以乾式吸附塔吸附 ... 其中氣體燃燒管及乾式吸附塔(local scrubber) ... 濕式洗滌法(填充式洗滌塔)是現今處理半導體.

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