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蝕刻

「乾式」(電漿) 蝕刻是用於電路清晰度步驟，而「濕式」蝕刻(使用化學浴) 主要用於清潔晶圓。 ... 開始蝕刻前，晶圓上會塗上一層光阻劑或硬罩(通常是氧化物或氮化物)， ...

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