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半導體製程技術 - 聯合大學

乾式氧化 ---高純度的氧氣. ▫ 水蒸氣. ▫ 氣泡式系統 ... 硼(B)和磷(P)在二氧化矽的擴散速率比在矽的擴散. 速率來的低 ... 和全區覆蓋式氧化層比較. ▫ 較好的絕緣效果.

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