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半導體工程CH5 | PDF

乾式氧化 製程形成氧化層的速度比較慢，但它的質量比較好，所以適合運用在較薄的氧化製程上面，例如:閘極氧化層。濕式氧化製程形成氧化層的速度很快，但質量比較差， ...

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