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聚乙二醇官能团对电镀铜柱特性的影响,Journal of Materials ...

研究了五种具有不同末端官能团的基于聚乙二醇（PEG）的化合物作为抑制剂，以研究不同末端官能团对基于PEG的抑制剂抑制铜柱电镀的能力的影响。

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