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晶圓儲運自動化先行 - 智動化

SEMI進一步剖析半導體設備在各個應用領域現況，2022年全球共計167座晶圓廠 ... 圖2 : 在半導體前段製程中的自動搬運機與機器人，在製程的串接上發揮了 ...

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