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全球瘋搶EUV 曝光機！究竟是摩爾定律的救命曙光 - 科技魅癮

作為當代頂尖的曝光機，EUV 曝光機可以進行5 奈米以下的製程。 ... 然而，這並不代表DUV 搭配上多重曝光，就能夠打開中芯國際在先進製程的康莊大道。

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