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中科院碳化矽
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https://www.chinatimes.com/realtimenews/20220119004893-260410
台灣碳化矽設備朝國產化發展第三類半導體供應鏈漸走向虛擬 ...
舉例來說,中科院已將碳化矽長晶機及長晶技術轉予太極能源集團;另外,中鋼碳素 ... 目前碳化矽供應鏈由國際IDM大廠所主導,原因是磊晶(epi)製程即 ...
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「中科院碳化矽」
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