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中科院碳化矽
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http://compotech.com.tw/a/press/2022/0119/50264.html
台灣碳化矽設備朝本土化發展第三類半導體供應鏈漸走向虛擬 ...
舉例來說,中科院已將碳化矽長晶機及長晶技術轉予太極能源集團;另外,中鋼碳素開發長晶用石墨坩堝,預計2022年下半達半導體規格,並優先供應國內業者 ...
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「中科院碳化矽」
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精 碳材料