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中科院碳化矽
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国产三代半导体材料新突破,中科院成功制备8 英寸碳化硅晶体
碳化硅(SiC)作为第三代半导体材料,在功率半导体等领域具有巨大应用潜力,但长期以来面临大尺寸晶体制备的工艺难题,碳化硅单晶衬底在器件成本中占 ...
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「中科院碳化矽」
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