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不同相之石墨結構製作方法

一種不同相之石墨結構製作方法,步驟包括:(A)提供一碳. 化矽單晶基板;(B)該碳化矽單晶基板設置於一石墨坩堝中,再. 置入一反應爐中,進行一抽氣製程;(C)在惰性氣體氣氛下,該.

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