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中國 造光刻機
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“大型EUV光刻厂”的设想,靠谱吗?
一个说法是,中国可以建加速器产生EUV光源,不同频率的光源可以给28nm、14nm、7nm、5nm等多种芯片制程使用,用“光刻厂”替代ASML一台台的EUV光刻机,以 ...
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