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中國 造光刻機
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中国造出首台自主新式光刻机,未来可造10nm芯片
中科院光电技术研究所项目副总师胡松透露,新验收的光刻机,加工能力介于深紫外级和极紫外级之间,使用了365纳米紫外光的汞灯,一只费用仅为数万元, ...
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