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... 年，係世界知名跨國企業SPEEDFAM集團(西元1959年在美國創立)在台獨立子公司。 ... 的晶圓級自動化上蠟機(SWM/LWM)、晶圓級鑽石砂輪研磨機(BSG)、邊緣導角機(Edge ...

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