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中國自製光刻機
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https://books.google.com.tw/books?id=rd-kDwAAQBAJ&pg=PA374&lpg=PA374&dq=%E4%B8%AD%E5%9C%8B%E8%87%AA%E8%A3%BD%E5%85%89%E5%88%BB%E6%A9%9F&source=bl&ots=nQikTG07Gc&sig=ACfU3U3diflfh7aWKCq8ICpcVweLtxuviA&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwjyg5KO_7OAAxXxc_EDHTibCsgQ6AF6BQi4AhAD
尋租中國: 台商、廣東模式與全球資本主義 - 第 374 頁 - Google 圖書結果
在中興事件刺激下,中國掀起一陣「缺芯之痛」輿論熱潮。 ... 晶圓廠由於設備昂貴,投資非常鉅大,機器非常「燒錢」,光刻機(曝光機 EUV)一台就要 1.2 億歐元左右。
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