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中國自製光刻機
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中国芯片产业链在DUV、EUV光刻机技术上都取得了新的突破
据媒体报道指国产EUV光刻机已取得重大突破,中科院上海光机所在核心光学器件方面取得了重大突破,另外光学系统巨头国王光学也在近期招标五轴联动加工中.
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