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中國自製光刻機
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國教院跟風中國? EUV曝光機變「光刻機」 - 自由財經
EUV曝光機變「光刻機」 ... 一年以前即翻譯為「光刻」,沿用至今;而依國教院調查確認,中國使用光刻此一名詞是在我國(二○○一年)定稿後才出現。
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