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重大突破！国产28nm光刻机即将量产，可通过多重曝光制造 ...

immersion式光刻机就是浸没式光刻机，采用ArF光源，也就是193nm波长的光源，这是第四代光刻机，这也标志着中国和ASML在光刻机上仅有1代的差距，上海微电子 ...

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