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中國自製光刻機
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中国的DUV和EUV光刻机能够2024年之前研发出来 - 知乎专栏
光刻机 技术和技术路径明确,目前是中国科技进步的最关键卡脖子项目,是完全可以发挥中国集中力量办大事的优良传统去解决这个科技痛点的。 首先要明确决心,自制光刻机 ...
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