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中國光刻機28nm
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光刻机,诸多让人期待的进展正默默完成
而更重要的,是在中国的本土语境下,光刻机为公众所知更多是因为,它是 ... 今年年底或推出可生产28nm制程的DUV光刻机,28nm是芯片制程的重要节点。
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上海微電子28nm光刻機
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