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中國光刻機2021
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https://books.google.com.tw/books?id=HJNUEAAAQBAJ&pg=PA72&lpg=PA72&dq=%E4%B8%AD%E5%9C%8B%E5%85%89%E5%88%BB%E6%A9%9F2021&source=bl&ots=oDW5UuCjF1&sig=ACfU3U1K-KS9FuLaw7hlHiatowp5YtIYEA&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwig9K72qZf4AhWNgv0HHUG1BS0Q6AF6BQi8AhAD
2021 ICT產業白皮書. 下 人工智慧、半導體產業、電動車、智慧醫療
... 國際間的瓦聖納協定限制 45nm 以下半導體曝光設備(含 EUV 光刻機)與 16nm 以下光罩製作設備,列入出口管制的國際物品清單中,箝制中國大陸半導體先進製程技術發展。
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