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国产“28nm光刻机”又跳票？到底卡在了哪里？ - 芯智讯

而在今年的6月，网上又再度传出上海微电子的“28nm光刻机”将在2021年年底交付的传闻。 ... 相比之下，中国虽然也有自己的国产光刻机厂商——上海微电子装备股份有限 ...

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