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中國光刻機研發
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陸媒曝:富士康首座封測廠引進46台大陸國產28nm光刻機
中國光刻機 龍頭上海微電子(SMEE)28nm 光刻機,進駐富士康青島封測廠正式投產。 ... 上海微電子自主研發設計的是大陸首台國產28nm浸沒式光刻機。
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